Charged particle beam device, chamber scope, and target object detection method

WO2016088260 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016088260
Aktenzeichen: EP14907300
Anmeldetag: 5. Dezember 2014
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01B11/00H01J37/28H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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