Vacuum chuck, beveling/polishing device, and silicon wafer beveling/polishing method

WO2016088444 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016088444
Aktenzeichen: EP15866324
Anmeldetag: 5. Oktober 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B9/00B24B37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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