Method for managing film quality of oxide semiconductor thin-film

WO2016088491 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016088491
Aktenzeichen: EP15864776
Anmeldetag: 29. Oktober 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336G01N22/00H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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