Method for producing metal carbonitride film or metalloid carbonitride film, metal carbonitride film or metalloid carbonitride film, and apparatus for producing metal carbonitride film or metalloid carbonitride film

WO2016088500 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: UBE Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016088500
Aktenzeichen: EP15864590
Anmeldetag: 4. November 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/36C23C16/42C23C16/448H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UBE Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von