Substrate examination device

WO2016088623 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Toray Engineering Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016088623
Aktenzeichen
EP15865843
Anmeldetag
25. November 2015
Veröffentlichung
9. Juni 2016
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01B11/00G01N21/958
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Toray Engineering Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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