Method for separating group 13 element nitride layer, and composite substrate

WO2016088624 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016088624
Aktenzeichen
EP15864506
Anmeldetag
25. November 2015
Veröffentlichung
9. Juni 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/38C23C16/01C30B9/00C30B25/18C30B33/00H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK Insulators, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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