Wafer support, chemical vapor phase growth device, epitaxial wafer and manufacturing method therefor

WO2016088671 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016088671
Aktenzeichen: EP15865562
Anmeldetag: 27. November 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/42C23C16/458C23C16/52C30B25/12C30B29/36H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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