Photolithography methods

WO2016089308 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016089308
Aktenzeichen: EP15865173
Anmeldetag: 2. Dezember 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/00G03F7/00G03F7/20H01L21/027G03F7/34G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von