Apparatus and method for providing a humidity-controlled environment in which to perform optical contacting
WO2016089449
Art A1
9. Juni 2016
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016089449
- Aktenzeichen
- EP15864591
- Anmeldetag
- 24. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 9. Juni 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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