Substrate Container Valve Assemblies

WO2016089912 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016089912
Aktenzeichen
EP15864906
Anmeldetag
1. Dezember 2015
Veröffentlichung
9. Juni 2016
Rechtsraum
WO
IPC
B65D81/20F16K15/00F16K15/14B65D85/30B65D85/38B65D85/86B65D85/90H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von

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