Method for manufacturing epitaxial silicon wafer and vapor phase growth device

WO2016093195 Art A1 16. Juni 2016

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016093195
Aktenzeichen: EP15868475
Anmeldetag: 7. Dezember 2015
Veröffentlichung: 16. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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