Electrostatic chuck and wafer processing device

WO2016093297 Art A1 16. Juni 2016

Anmelder: Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016093297
Aktenzeichen: EP15868254
Anmeldetag: 10. Dezember 2015
Veröffentlichung: 16. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toto Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOTO

TOTO ist ein japanischer Hersteller von Sanitärkeramik und Badtechnik, bekannt für Toilettensysteme wie Washlet. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Straßen-, Wasser- und Tiefbau sowie Halbleiter- und Werkstofftechnik, ergänzt durch Haushalts- und Konsumgüter. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2026.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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