Organosilane precursors for ald/cvd silicon-containing film applications and methods of using the same

WO2016094711 Art A2 16. Juni 2016

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016094711
Aktenzeichen: EP15867800
Anmeldetag: 10. Dezember 2015
Veröffentlichung: 16. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/21C07F7/02C23C16/455C23C16/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von