Agent for increasing etching rates

WO2016096083 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016096083
Aktenzeichen: EP15801676
Anmeldetag: 23. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C09K13/06C09K13/08H01L21/3213H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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