Druckreduzierungseinrichtung, Vorrichtung zur Massenspektrometrischen Analyse eines Gases und Reinigungsverfahren

WO2016096233 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016096233
Aktenzeichen: EP15790124
Anmeldetag: 3. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von