Trench pattern wet chemical copper metal filling using a hard mask structure

WO2016096390 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016096390
Aktenzeichen: EP15804378
Anmeldetag: 30. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C25D7/12C25D3/38C25D5/02C25D5/48C23C18/16C23C18/40H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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