Method for fine line manufacturing

WO2016096571 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016096571
Aktenzeichen: EP15813737
Anmeldetag: 9. Dezember 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/09G03F7/095G03F7/11H01L21/283H01L21/285H01L21/288H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

482 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von