Grating, method for manufacturing grating, and method for reproducing grating

WO2016098237 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016098237
Aktenzeichen: EP14908447
Anmeldetag: 18. Dezember 2014
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18H01S3/139

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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