Substrate treatment apparatus and substrate treatment method

WO2016098855 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016098855
Aktenzeichen: EP15870057
Anmeldetag: 17. Dezember 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44C30B25/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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