Nozzle head, manufacturing method for nozzle head and liquid supply apparatus comprising nozzle head

WO2016098984 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Korea Institute of Industrial Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016098984
Aktenzeichen: EP15870152
Anmeldetag: 30. Juli 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/56H01L21/67H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Industrial Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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