Variable radius mirror dichroic beam splitter module for extreme ultraviolet source

WO2016099758 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016099758
Aktenzeichen: EP15870576
Anmeldetag: 17. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B27/10H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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