Particle Reduction in A Deposition Chamber Using Thermal Expansion Coefficient Compatible Coating

WO2016099804 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016099804
Aktenzeichen: EP15870608
Anmeldetag: 20. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/06C23C14/14C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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