Apparatus for improving temperature uniformity of a workpiece

WO2016099817 Art A1 23. Juni 2016

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016099817
Aktenzeichen: EP15870617
Anmeldetag: 23. November 2015
Veröffentlichung: 23. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/324H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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