Photoetching procedure dynamic scheduling method based on indicator forecasting and solution similarity analysis

WO2016101181 Art A1 30. Juni 2016

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016101181
Aktenzeichen: EP14908749
Anmeldetag: 24. Dezember 2014
Veröffentlichung: 30. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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