Combined charged particle beam device and control method therefor

WO2016103432 Art A1 30. Juni 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016103432
Aktenzeichen: EP14909039
Anmeldetag: 26. Dezember 2014
Veröffentlichung: 30. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J37/28H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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