Method for cleaning silicon carbide deposits

WO2016103924 Art A1 30. Juni 2016

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016103924
Aktenzeichen: EP15872493
Anmeldetag: 5. November 2015
Veröffentlichung: 30. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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