A method of doping wafers

WO2016107977 Art A1 7. Juli 2016

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016107977
Aktenzeichen: EP15845496
Anmeldetag: 22. Dezember 2015
Veröffentlichung: 7. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00H01L21/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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