Alignment of inspection to design using built in targets
WO2016109662
Art A1
7. Juli 2016
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016109662
- Aktenzeichen
- EP15876256
- Anmeldetag
- 30. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 7. Juli 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01R31/307G01R31/311G01R31/26H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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