Mems Aktuator, System mit einer Mehrzahl von Mems Aktuatoren und Verfahren zum Herstellen eines Mems Aktuators

WO2016113251 Art A1 21. Juli 2016

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016113251
Aktenzeichen: EP16700428
Anmeldetag: 12. Januar 2016
Veröffentlichung: 21. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02F1/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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