Method and apparatus for measuring oxidant concentration, and electronic material cleaning apparatus

WO2016114188 Art A1 21. Juli 2016

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016114188
Aktenzeichen: EP16737259
Anmeldetag: 6. Januar 2016
Veröffentlichung: 21. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01N31/00G01N31/10G01N31/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kurita Water Industries Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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