Joint apparatus, joint system, and joint method

WO2016114328 Art A1 21. Juli 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Agency for Science, Technology And Research 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016114328
Aktenzeichen: EP16737399
Anmeldetag: 5. Januar 2016
Veröffentlichung: 21. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02B23K20/00H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Agency for Science, Technology And Research
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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