Verfahren zum Herstellen eines Reflektiven Optischen Elements, Reflektives Optisches Element und Verwendung eines Reflektiven Optischen Elements

WO2016116387 Art A1 28. Juli 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016116387
Aktenzeichen: EP16700831
Anmeldetag: 18. Januar 2016
Veröffentlichung: 28. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C25D7/08G02B7/18G02B5/08G03F7/20G21K1/06G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von