Euv light generation system, euv light generation method, and thomson scattering measurement system
WO2016117118
Art A1
28. Juli 2016
Anmelder: Kyushu University, National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016117118
- Aktenzeichen
- EP15878810
- Anmeldetag
- 23. Januar 2015
- Veröffentlichung
- 28. Juli 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kyushu University, National University Corporation
Gigaphoton Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyushu University
Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.
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