Euv light generation system, euv light generation method, and thomson scattering measurement system

WO2016117118 Art A1 28. Juli 2016

Anmelder: Kyushu University, National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016117118
Aktenzeichen: EP15878810
Anmeldetag: 23. Januar 2015
Veröffentlichung: 28. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyushu University, National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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