Exhaust gas treatment device and substrate treatment device

WO2016117253 Art A1 28. Juli 2016

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016117253
Aktenzeichen: EP15878942
Anmeldetag: 17. Dezember 2015
Veröffentlichung: 28. Juli 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B01D46/24B01D46/04C23C16/44H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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