Small volume, long pathlength multi-pass gas cell for ir and uv monitoring
WO2016118431
Art A1
28. Juli 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016118431
- Aktenzeichen
- EP16740543
- Anmeldetag
- 16. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 28. Juli 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01F22/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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