Beweglich Gelagertes Bauteil einer Projektionsbelichtungsanlage sowie Vorrichtung und Verfahren zur Bewegungsbegrenzung hierfür

WO2016119977 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016119977
Aktenzeichen: EP15816463
Anmeldetag: 18. Dezember 2015
Veröffentlichung: 4. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/182F16F15/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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