Electron microscope equipped with ion milling device, and three-dimensional reconstruction method

WO2016121079 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016121079
Aktenzeichen: EP15879976
Anmeldetag: 30. Januar 2015
Veröffentlichung: 4. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/30H01J37/22H01J37/28H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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