Sample observation method and sample observation device

WO2016121265 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016121265
Aktenzeichen
EP15880157
Anmeldetag
21. Dezember 2015
Veröffentlichung
4. August 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/22G01B15/04G06T1/00H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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