Mask case, storage device and storage method, transfer device and transfer method, and exposure device

WO2016121635 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016121635
Aktenzeichen: EP16743238
Anmeldetag: 22. Januar 2016
Veröffentlichung: 4. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/66B65D85/86B65G49/07G03F7/20H01L21/673H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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