Lithography Resist Underlayer Film-Forming-Composition Containing Hydrolyzable Silane Having Carbonate Skeleton

WO2016121686 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016121686
Aktenzeichen: EP16743289
Anmeldetag: 25. Januar 2016
Veröffentlichung: 4. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08G77/14C08G77/44G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von