Fluoro-based polymer composite target for sputtering

WO2016122223 Art A1 4. August 2016

Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016122223
Aktenzeichen
EP16743701
Anmeldetag
28. Januar 2016
Veröffentlichung
4. August 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C23C14/35C23C14/06C23C14/12C23C14/08C23C14/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Research Institute of Chemical Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

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