Anordnung zur Positionsmanipulation eines Elementes, insbesondere in einem Optischen System

WO2016124394 Art A1 11. August 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016124394
Aktenzeichen: EP16702340
Anmeldetag: 19. Januar 2016
Veröffentlichung: 11. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von