Teilchenstrahlsystem und Verfahren zur Teilchenoptischen Untersuchung eines Objekts
WO2016124648
Art A1
11. August 2016
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016124648
- Aktenzeichen
- EP16702724
- Anmeldetag
- 3. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 11. August 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/09H01J37/244
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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