Bonded semiconductor wafer and method for manufacturing same

WO2016125427 Art A1 11. August 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016125427
Aktenzeichen
EP16746261
Anmeldetag
8. Januar 2016
Veröffentlichung
11. August 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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