Cleaning method for monocrystal pulling device, cleaning tool used for same, and production method for monocrystal

WO2016125605 Art A1 11. August 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016125605
Aktenzeichen
EP16746436
Anmeldetag
22. Januar 2016
Veröffentlichung
11. August 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/00C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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