Cleaning method for monocrystal pulling device, cleaning tool used for same, and production method for monocrystal
WO2016125605
Art A1
11. August 2016
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016125605
- Aktenzeichen
- EP16746436
- Anmeldetag
- 22. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 11. August 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B15/00C30B29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
658 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.