Substrate transfer robot and substrate transfer method

WO2016125752 Art A1 11. August 2016

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016125752
Aktenzeichen: EP16746583
Anmeldetag: 1. Februar 2016
Veröffentlichung: 11. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J13/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

1.895 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von