Composite charged particle beam device

WO2016125844 Art A1 11. August 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016125844
Aktenzeichen: EP16746675
Anmeldetag: 4. Februar 2016
Veröffentlichung: 11. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/12H01J37/147H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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