System and method for high throughput work-in-process buffer
WO2016127151
Art A1
11. August 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016127151
- Aktenzeichen
- EP16747404
- Anmeldetag
- 8. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 11. August 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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