Catalyst structure and catalyst structure manufacturing method and manufacturing apparatus

WO2016129153 Art A1 18. August 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016129153
Aktenzeichen: EP15882027
Anmeldetag: 30. Oktober 2015
Veröffentlichung: 18. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B01J35/04B01J37/02C01B3/38C01B3/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik

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