Purge device, purge stocker, and purge abnormality detection method
WO2016129170
Art A1
18. August 2016
Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016129170
- Aktenzeichen
- EP15882044
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 18. August 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673B65G1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Murata Machinery, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Murata Machinery
Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.
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